HEIDENHAIN海德漢光柵尺HEIDENHAIN傳感器，HEIDENHAIN海德漢敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺 2007年5月 敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺 直線(xiàn)光柵尺測(cè)量直線(xiàn)軸位置時(shí)不存在任何 敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺設(shè)計(jì)用于需要高精度測(cè) 機(jī)械結(jié)構(gòu) 附加的機(jī)械傳動(dòng)元件。因此，它能消除以 量的機(jī)床和系統(tǒng)。典型應(yīng)用包括： 敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵 下潛在誤差源： • 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備 尺和掃描頭，光柵尺和掃描頭間無(wú)機(jī)械 • PCB電路板組裝機(jī) 接觸。 • 由于滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的位置誤差 • 超精密機(jī)床，例如加工光學(xué)元件的金剛 • 反向誤差 石刀具車(chē)床，加工磁盤(pán)的端面車(chē)床和加 敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺的長(zhǎng)光柵直接固定在安 • 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差 工鐵氧體元件的磨床 裝面上。安裝面的平面度直接影響直線(xiàn)光 • 高精度機(jī)床 柵尺精度。 因此，直線(xiàn)光柵尺已成為高精度定位和高 • 測(cè)量機(jī)和比較儀，測(cè)量顯微鏡和其它精 速加工*的條件。 密測(cè)量設(shè)備 • 直接驅(qū)動(dòng) 其它樣本還有 • 帶內(nèi)置軸承角度編碼器 • 無(wú)內(nèi)置軸承角度編碼器 本樣本是以前樣本的替代版，所有以前 • 旋轉(zhuǎn)編碼器 版本均不再有效。訂購(gòu)HEIDENHAIN海德漢伺服驅(qū)動(dòng)用編碼器 司的產(chǎn)品僅以訂購(gòu)時(shí)有效的樣本為準(zhǔn)。 • NC數(shù)控機(jī)床用直線(xiàn)光柵尺 • 接口電子設(shè)備 有關(guān)相應(yīng)的適用標(biāo)準(zhǔn)（ISO，EN等）， HEIDENHAIN海德漢數(shù)控系統(tǒng) 請(qǐng)見(jiàn)樣本中的特別標(biāo)注。 歡迎索取，或訪(fǎng)問(wèn) 。 目錄 概要 敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺 2 選型指南 4 技術(shù)特點(diǎn) 測(cè)量原理 測(cè)量基準(zhǔn) 6 增量測(cè)量法 7 光電掃描 8 測(cè)量精度 10 可靠

HEIDENHAIN海德漢直線(xiàn)光柵尺在真空技術(shù)中的應(yīng)用 “真空"是指全空的空間，無(wú)空氣也無(wú)任何其它氣體。 根據(jù)真空的純度，通常將真空分為低真空、中等真空、高度真空或超高真空。 真空技術(shù)在許多現(xiàn)代化生產(chǎn)和科研中發(fā)揮著重要作用。真空技術(shù)是電子工業(yè)和生物技術(shù)，薄膜沉積技術(shù)，新材料開(kāi)發(fā)，醫(yī)藥以及化學(xué)分 析*的技術(shù)。 真空應(yīng)用對(duì)零部件提出嚴(yán)格的要求，當(dāng)然也影響到定位應(yīng)用的編碼器。海德漢針對(duì)高真空和超高真空應(yīng)用特別設(shè)計(jì)的直線(xiàn)光柵尺能滿(mǎn)足 這些要求，措施包括： • 適應(yīng)真空應(yīng)用的PCB，黏膠和漆料，以減少氣體析出 • 通氣的空腔，縮短抽真空時(shí)間 • 耐高溫，支持較高的加熱溫度 • 無(wú)磁鐵材料，提高過(guò)程可靠性 • 超凈車(chē)間生產(chǎn)，確保高清潔程度 真空等級(jí) 真空 壓力， 高度， 平均自由行程， 時(shí)間， 當(dāng)空氣被排出封閉的空間，空氣將變得稀 單位mbar 單位km 單位m 單位s 薄，結(jié)果是壓力降低：產(chǎn)生真空。封閉的 空間中的空氣量越少，即壓力越小，真空 海拔高度 兩個(gè)氣體分子無(wú)碰撞 顆粒覆蓋表面的時(shí)間 度越高。真空度分為四級(jí)?？諝鈮毫Φ陀?1 mbar是低真空；空氣壓力低于1 bar是中 +3 –5 –5 低 10 至1 < 50 < 10 < 10 等真空。真空度低于0.001 mbar為高真空， 達(dá)到或低于0.000 000 1 mbar為超高真空。 –3 –5 – 1 –5 -2 中等 1至10 50至100 10 至10 10 至10 真空應(yīng)用 -3 -7 -1 +3 -2 +2 如果一個(gè)封閉的空間中不允許任何異物， 高 10 至10 100至500 10 至10 10 至10 沒(méi)有空氣，因此也沒(méi)有任何懸浮顆粒，就 -7 +3 必須是真空環(huán)境。有些情況需要在真空中 超高 < 10 > 500 > 10 > 100 進(jìn)行尺寸測(cè)量，例如需要檢查亞微米級(jí)的 超精細(xì)結(jié)構(gòu)或需要切分和檢查顆粒時(shí)。直 線(xiàn)光柵尺和角度編碼器在真空中的常見(jiàn)應(yīng) 用包括電子顯微鏡、機(jī)械手、多路執(zhí)行器、 XY工作臺(tái)、電子束顯微鏡，半導(dǎo)體工業(yè)的 圓晶檢查或測(cè)量同步加速器輻射的光譜儀 軸。 2015年5月 真空應(yīng)用對(duì)編碼器的要求 通常在低真空和中等真空應(yīng)用中，可用海 德漢的標(biāo)準(zhǔn)編碼器，工作溫度有一定限 制。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要 滿(mǎn)足一些特殊要求。 少量氣體逸出 真空應(yīng)用中，必須盡可能減少氣體的逸 出，否則真空室的壓力將顯著升高。超高 真空應(yīng)用中，所有部件都十分關(guān)鍵。例如， 部分塑料件的揮發(fā)性溶劑會(huì)逸出。印刷電 路板、黏膠或漆料中都含這類(lèi)塑料，在超 真空應(yīng)用中，必須嚴(yán)格避免這些材料。海 德漢采用的PCB和黏膠能滿(mǎn)足真空應(yīng)用要 求。常用的漆料也用滿(mǎn)足真空應(yīng)用要求的 材料取代。在超真空應(yīng)用中，必須盡可能 壓縮零部件數(shù)量—接口和脈沖整形電子電 路必須在真空室外。為此，海德漢提供配 外部接口硬件的編碼器。對(duì)于高真空應(yīng)用， 方法之一是將接口硬件安排在真空室內(nèi)。 空腔的正確通風(fēng) 要產(chǎn)生真空，必須排出封閉空間內(nèi)的空氣。 獲得所需低壓的時(shí)間被稱(chēng)為“抽真空時(shí) 間"，該時(shí)間應(yīng)盡可能短，以使真空系統(tǒng) 盡快開(kāi)始工作。如果空腔中的空氣能很快 逸出，就能縮短抽真空的時(shí)間。為此，HEIDENHAIN海德漢編碼器外殼增加了空氣孔數(shù)量，打開(kāi) 盲孔的螺紋孔，通氣孔直接打通到空腔 中。 無(wú)鐵磁材料 根據(jù)真空腔中進(jìn)行的操作，編碼器中的部 分材料可能不允許使用。鐵磁材料不允許 用在檢查微電子電路的電子束顯微鏡中。 為此，海德漢真空應(yīng)用的編碼器無(wú)磁性材 料。 耐高溫 為縮短抽真空時(shí)間和獲得較高真空度，真 空腔需要加熱到100 °C甚至更高的溫度。

HEIDENHAIN海德漢光柵尺HEIDENHAIN傳感器，HEIDENHAIN海德漢敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺 2016年4月 敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺 直線(xiàn)光柵尺測(cè)量直線(xiàn)軸位置，測(cè)量期間沒(méi) 敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺設(shè)計(jì)用于超高測(cè)量精度 機(jī)械結(jié)構(gòu) 有任何其它機(jī)械傳動(dòng)件。因此，它能消除 的機(jī)器和系統(tǒng)。典型應(yīng)用包括： 敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺包括光柵尺或鋼光柵尺 以下潛在誤差源： • 半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備 帶和讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接 • 滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的定位誤差 • PCB電路板組裝機(jī) 觸。 • 反向誤差 • 超精密機(jī)床，例如加工光學(xué)器件的金剛 敞開(kāi)式直線(xiàn)光柵尺的光柵尺帶固定在安裝 • 滾珠絲杠螺距誤差導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性誤差 石刀具，加工磁盤(pán)的端面車(chē)床和加工鐵 面上。因此，安裝面的平面度是高精度直 氧體元件的磨床 線(xiàn)光柵尺應(yīng)用的基礎(chǔ)條件。 因此，直線(xiàn)光柵尺是高精度定位和高速加 • 高精度機(jī)床 工機(jī)床*的基礎(chǔ)技術(shù)手段。 • 測(cè)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡和其它精 密測(cè)量設(shè)備 • 直驅(qū)電機(jī) 以下信息 • 內(nèi)置軸承角度編碼器 • 無(wú)內(nèi)置軸承角度編碼器 本樣本是以前樣本的替代版，所有 • 模塊式磁柵角度編碼器 以前版本均不再有效。 • 旋轉(zhuǎn)編碼器 訂購(gòu)海德漢公司的產(chǎn)品僅以訂購(gòu)時(shí) • 伺服驅(qū)動(dòng)編碼器 海德漢編碼器接口樣本，ID 1078628 -有效的樣本為準(zhǔn)。 • NC數(shù)控機(jī)床用直線(xiàn)光柵尺 xx，提供全部可用接口的全面說(shuō)明和一 • 接口電子電路 般電氣信息。

HEIDENHAIN海德漢光柵尺型號(hào)舉例：

　　HEIDENHAIN海德漢封閉式光柵尺：LC 495、LC 485、LC 495 M、LC 195 S、LC 115 、LC 195 F、LC 211、LF 485、LF 185、LS 477、LS 187、LB 382 、LB 382、LS 328 C、LS 688 C、LS 1679

　　HEIDENHAIN海德漢敞開(kāi)式光柵尺：LIC 4193F、LIC 4115、LIC 4197M、LIC 4199P、LIC 2117、LIC 2197P、LIC 2119、LIC 2199M、LIP 382、LIP 281、LIP 581、LIP 471、LIF 481、LIDA 473、LIDA 475、LIDA 487、LIDA 489、LIDA 277

德國(guó)HEIDENHAIN用于數(shù)控機(jī)床的海德漢直線(xiàn)光柵尺幾乎適用于任何應(yīng)用。它是所有進(jìn)給軸為伺服控制環(huán)模式的機(jī)器和設(shè)備的*，例如銑床、加工中心、鏜床、車(chē)床和磨床。 直線(xiàn)光柵尺的動(dòng)態(tài)性能優(yōu)點(diǎn)，允許的運(yùn)動(dòng)速度高，沿測(cè)量方向的加速性能使其不僅能滿(mǎn)足常規(guī)軸高動(dòng)態(tài)性能要求，也能滿(mǎn)足直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)的高動(dòng)態(tài)性能要求。緊湊外殼的直線(xiàn)光柵尺設(shè)計(jì)用于安裝空間有限的地方。 如果測(cè)量長(zhǎng)度較大和加速負(fù)荷較大，可能需要使用安裝板或固定件。HEIDENHAIN標(biāo)準(zhǔn)外殼直線(xiàn)光柵尺，HEIDENHAIN標(biāo)準(zhǔn)外殼直線(xiàn)光柵尺突出特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、抗振能力強(qiáng)和測(cè)量長(zhǎng)度大。讀數(shù)頭通過(guò)一個(gè)斜板連接安裝架，因此允許垂直安裝和水平安裝，并具有相同的防護(hù)等級(jí)。

HEIDENHAIN海德漢源自威廉·海德漢于1889年在德國(guó)柏林創(chuàng)建的金屬蝕刻工廠(chǎng)。 這家工廠(chǎng)生產(chǎn)模板，標(biāo)識(shí)，刻度尺和標(biāo)尺。 二戰(zhàn)期間公司被毀，威廉·海德漢之子在地處德國(guó)特勞恩羅伊特創(chuàng)建約翰內(nèi)斯·海德漢博士公司（DR. JOHANNES HEIDENHAIN）。 初的產(chǎn)品也是刻度尺和零售用的計(jì)價(jià)秤。 不久后開(kāi)始生產(chǎn)機(jī)床的光學(xué)位置測(cè)量系統(tǒng)。 六十年代初期開(kāi)始轉(zhuǎn)向生產(chǎn)光電掃描的直線(xiàn)光柵尺和角度編碼器。 這些發(fā)展促成了制造業(yè)中許多機(jī)器和設(shè)備的自動(dòng)化。七十年代中期以后，海德漢公司已成為機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)和驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的重要制造商。

　　——自公司創(chuàng)建伊始，HEIDENHAIN海德漢一直秉持注重技術(shù)發(fā)展之路。 為保持公司持續(xù)發(fā)展和*地位，1970年約翰內(nèi)斯?海德漢博士將其持有的公司股份轉(zhuǎn)入基金會(huì)。 這使今天的海德漢公司可投入大量資金進(jìn)行研發(fā)。

　　——今天的HEIDENHAIN海德漢公司已在全球49個(gè)國(guó)家和地區(qū)設(shè)有辦事機(jī)構(gòu)，絕大多數(shù)是全資的子公司。銷(xiāo)售工程師和維修技術(shù)人員可以為您提供技術(shù)信息和進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)的服務(wù)。

　　——同時(shí)，HEIDENHAIN海德漢的高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是經(jīng)過(guò)ISO 9001質(zhì)量體系和德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)服務(wù)(DAkkS)針對(duì)長(zhǎng)度和角度檢查工序認(rèn)證的。另一方面，超長(zhǎng)的產(chǎn)品壽命，可再利用的設(shè)計(jì)理念，對(duì)于資源的小心仔細(xì)利用和有效化使用能源都是基于ISO 14001標(biāo)準(zhǔn)的。

珺菱工業(yè)設(shè)備（上海）有限公司優(yōu)勢(shì)品牌：德國(guó)MEISTER麥斯特流量計(jì)，德國(guó)MEISTER麥斯特傳感器，德國(guó)KRACHT克拉克流量計(jì)，德國(guó)KRACHT克拉克指示器，德國(guó)KRACHT克拉克齒輪泵，德國(guó)VSE流量計(jì)，意大利ATOS阿托斯電磁閥，意大利ATOS阿托斯比例閥，意大利ATOS阿托斯油缸，德國(guó)TR帝爾傳感器，美國(guó)PARKER派克比例閥，美國(guó)PARKER派克傳感器，德國(guó)BARKSDALE巴士德溢流閥，德國(guó)BARKSDALE巴士德傳感器，德國(guó)BARKSDALE巴士德壓力開(kāi)關(guān)，德國(guó)BARKSDALE巴士德液位計(jì)，德國(guó)BARKSDALE巴士德流量開(kāi)關(guān)，德國(guó)KOBOLD科寶傳感器，德國(guó)KOBOLD科寶流量計(jì)，德國(guó)EUCHNER安士能傳感器，德國(guó)EUCHNER安士能安全鎖，德國(guó)EUCHNER安士能開(kāi)關(guān)，德國(guó)IFM易福門(mén)傳感器，德國(guó)IFM易福門(mén)接近開(kāi)關(guān)，德國(guó)P+F倍加福傳感器，德國(guó)TURCK圖爾克傳感器，德國(guó)BURKERT寶德電磁閥，德國(guó)BURKERT寶德角座閥，德國(guó)BURKERT寶德流量計(jì)，德國(guó)BURKERT寶德傳感器，美國(guó)SUN太陽(yáng)插裝閥，美國(guó)SUN太陽(yáng)流量閥，德國(guó)PILZ皮爾茲繼電器，德國(guó)HYDAC賀德克傳感器，德國(guó)HYDAC賀德克齒輪泵，德國(guó)HYDAC賀德克過(guò)濾器，德國(guó)HYDAC賀德克濾芯，德國(guó)HYDAC賀德克液壓閥，美國(guó)MAC電磁閥，日本SMC電磁閥，日本SMC氣缸，日本SMC傳感器，日本SMC過(guò)濾器，德國(guó)FESTO費(fèi)斯托氣缸，德國(guó)FESTO費(fèi)斯托電磁閥，德國(guó)FESTO費(fèi)斯托傳感器，歐洲陌生品牌都可以詢(xún)價(jià)，我們?cè)诘聡?guó)不萊梅有辦事處，可以聯(lián)系廠(chǎng)家詢(xún)價(jià)報(bào)價(jià)，給客戶(hù)一手的報(bào)價(jià)信息。